C-3-28 Research on Transparency Improvement of SiC Thin Film for Optical Waveguide

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  • C-3-28 光導波路用のSiC薄膜における透明性の向上について研究(光導波路回路(2),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

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  • CRID
    1573105977710839424
  • NII Article ID
    110009979542
  • NII Book ID
    AN10489017
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • CiNii Articles

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