High rate and low-temperature sputter-deposition of Ni-Zn ferrite thin-films

• Ogita, Tomoharu

• 山本, 節夫

• Isida, Gen

• 栗巣, 普揮

• 松浦, 満

• Shimosato, Yoshihiro

• Okada, Shigenobu

収録刊行物

• Transactions of the Materials Research Society of Japan

  Transactions of the Materials Research Society of Japan 29 (4), 1631-1634, 2004

  Materials Resarch society of Japan

キーワード

• ECR sputtering
• Ni-Zn ferrite
• ferrite thin-film
• high deposition rate
• low temperature sputtering

詳細情報

• CRID: 1050845762383127296
• NII論文ID: 120002647738
• Web Site: https://petit.lib.yamaguchi-u.ac.jp/15684
• 本文言語コード: en
• 資料種別: journal article
• データソース種別:
  • IRDB
  • CiNii Articles