Development of amorphous boron carbon oxynitride film for transmission electron microscope with environmental-cell system

• Matsutani Takaomi

• Tsutsui Hidenori

• Kawakaki Tadahiro

収録刊行物

• Transactions of JWRI

  Transactions of JWRI 39 (2), 322-324, 2010-12

  大阪大学接合科学研究所

キーワード

• Plasma chemical vapor deposition
• Amorphous boron carbon oxynitride
• Diaphragm
• Environmental cell
• Transmission electron microscope

詳細情報

• CRID: 1390575727755535488
• NII論文ID: 120005249211
• NII書誌ID: AA00867058
• DOI: 10.18910/24798
• HANDLE: 11094/24798
• ISSN: 03874508
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • JaLC
  • IRDB
  • CiNii Articles