マイクロホローカソード放電によるオゾン生成特性

• 遠藤 康信

  東京工業大学大学院電気電子工学専攻

• 安岡 康一

  東京工業大学大学院電気電子工学専攻

• 石井 彰三

  東京工業大学大学院電気電子工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Characteristics of Ozone Generation using a Micro Hollow Cathode Discharge
• マイクロホローカソード ホウデン ニ ヨル オゾン セイセイ トクセイ

抄録

A new type of ozone generator using a micro hollow cathode discharge has been developed and evaluated on its operating characteristics. The electrode system consists of two thin metal cathodes and a ceramic spacer with a center hole of a few 100 µm diameter. By feeding high- pressure oxygen gas through the center hole, the residence time of the oxygen gas within the discharge space decreases to the order of micro second. The ozone generation efficiency increases up to 45 g/kWh at the ozone concentration of 7.6 g/Nm³ without any cooling systems. In this ozone generating system, the ozone decomposition mechanisms such as electron impacts and the heat rise of oxygen gas are effectively removed by decreasing the gas-residence time.

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 123 (4), 364-369, 2003

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• オゾナイザ
• マイクロホローカソード放電
• 酸素ガス滞在時間

詳細情報

• CRID: 1390001204594653824
• NII論文ID: 130000081548
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms.123.364
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/13418939
• NDL書誌ID: 6530163
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6530163
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/123/4/123_4_364/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可