低圧容器内での微粒子挙動

• 森田 芳充

  ウシオ電機

• 山口 真典

  ウシオ電機

• 神谷 誠作

  ウシオ電機

• 仲田 重範

  ウシオ電機

• 植木 和義

  ウシオ電機

書誌事項

タイトル別名

• Microparticle behavior in a low pressure vacuum chamber.
• テイアツ ヨウキナイ デ ノ ビリュウシ キョドウ

抄録

記事分類: 測定・測定器

収録刊行物

• 真空

  真空 34 (3), 279-282, 1991

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204064025088
• NII論文ID: 130000868995
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.34.279
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 3716757
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3716757
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles