デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工

• 山田 周史

  新潟大学大学院 自然科学研究科

• 人母 岳

  立山マシン（株） 技術本部

• 寒川 雅之

  新潟大学大学院 自然科学研究科

• 安部 隆

  新潟大学大学院 自然科学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Micromachining of Titanium using a Desktop DRIE
• デスクトップガタ DRIE ソウチ オ モチイタ チタニウム ビサイ カコウ

抄録

In this paper, we report a micromachining of titanium using a desktop DRIE and fabrication of microstructure. We found out high speed exhaust characteristic is indispensable in the etching of titanium, and the etching rate more than 0.2 µm/min (a maximum rate is 0.4 µm/min) was provided in a small amount of etching gas (SF₆). As the demonstration of the method, we fabricated microneedles imitating mosquito's proboscis. We revealed that it is available for fabricating precision microstructure. Titanium has excellent mechanical property and corrosion resistance, and it is expected to be used as a material for MEMS. In this method, it is expected to apply to fabricate the three-dimensional structures.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 134 (4), 96-99, 2014

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• チタニウム
• 反応性イオンエッチング
• DRIE
• バイオミメティクス
• F系ガス
• MEMS

詳細情報

• CRID: 1390282679438793216
• NII論文ID: 130003391596
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.134.96
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 025466960
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025466960
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/4/134_96/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可