マイクロマシニングによるセンサ技術

• 江刺 正喜

書誌事項

タイトル別名

• マイクロマシニング ニ ヨル センサ ギジュツ

抄録

記事分類: 測定・測定器

収録刊行物

• 電氣學會雜誌

  電氣學會雜誌 110 (3), 203-210, 1990

  一般社団法人 電気学会

詳細情報

• CRID: 1390001205140821632
• NII論文ID: 130003611665
• NII論文ID: 10004186598
• NII書誌ID: AN00151717
• DOI: 10.11526/ieejjournal1888.110.203
• ISSN: 21876797
• ISSN: 00202878
• NDL書誌ID: 3647823
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3647823
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles