放射光による応用加工技術の現状と将来　　放射光ドライエッチングによるテフロンのマイクロ加工

• 加藤 隆典

  住友重機械工業(株)

書誌事項

タイトル別名

• Teflon Micromachining by SR Dry Etching.

収録刊行物

• 溶接学会誌

  溶接学会誌 71 (3), 154-156, 2002

  一般社団法人 溶接学会

キーワード

• 放射(SR)光
• テフロンPTFE
• マイクロマシン
• ドライエッチング
• 高アスペクト比

詳細情報

• CRID: 1390001206499609216
• NII論文ID: 130003764224
• DOI: 10.2207/qjjws1943.71.154
• ISSN: 18837204
• ISSN: 00214787
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles