数値制御ローカルウェットエッチング法による高精度光学素子の作製

• 永野 幹典

  大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 遠藤研究室

• 山家 史也

  大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 遠藤研究室

• 山本 悠人

  大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 遠藤研究室

• 是津 信行

  大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 遠藤研究室

• 山崎 大

  原子力機構 J-PARCセンター

• 丸山 龍治

  原子力機構 J-PARCセンター

• 曽山 和彦

  原子力機構 J-PARCセンター

• 山村 和也

  大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 遠藤研究室

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of ultraprecision optical devices by numerically controlled local wet etching
• 中性子集光用楕円面ミラーの作製 第V報

抄録

物性研究において中性子ビームを用いた測定が注目されているが、強度が弱いため測定に多大な時間を要するという欠点を持っている。測定時間の短縮のためには発散する中性子を集光する高精度光学素子が必要となる。我々は数値制御ローカルウエットエッチング法を用いた楕円筒面ミラーの作製を行い、未集光に比べ6倍のゲインを達成した。しかし、これではまだ不十分であり、さらなる強度向上には長尺化と多重化が必要となる。本稿では、ミラーの多重化に向けた薄基板の加工について述べる。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2009A (0), 153-154, 2009

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 中性子
• 光学素子
• ミラー
• エッチング

詳細情報

• CRID: 1390282680628235520
• NII論文ID: 130004658997
• DOI: 10.11522/pscjspe.2009a.0.153.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可