TOF-SIMSによるC60イオンを用いた有機材料の深さ方向分析

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タイトル別名
  • TOF-SIMS depth profiling of organic materials by C60 ion source

抄録

TOF-SIMSにおいて、C60イオンを用いた有機材料の深さ方向分析が盛んに行われている。しかしながら、ポリスチレン、ポリカーボネイトなど、スパッタと共に、主成分の分子ピーク強度が減少するものがあり、照射の最適条件を見出す必要がある。今回、C60イオンの照射角度を変えて様々な有機材料の深さ方向分析を行った。その結果、斜入射により良好なデプスプロファイルが得られ、さらに界面分解能も向上していた。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205680066048
  • NII論文ID
    130004674256
  • DOI
    10.14886/sssj2008.29.0.51.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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