TOF-SIMSによるC60イオンを用いた有機材料の深さ方向分析
書誌事項
- タイトル別名
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- TOF-SIMS depth profiling of organic materials by C60 ion source
抄録
TOF-SIMSにおいて、C60イオンを用いた有機材料の深さ方向分析が盛んに行われている。しかしながら、ポリスチレン、ポリカーボネイトなど、スパッタと共に、主成分の分子ピーク強度が減少するものがあり、照射の最適条件を見出す必要がある。今回、C60イオンの照射角度を変えて様々な有機材料の深さ方向分析を行った。その結果、斜入射により良好なデプスプロファイルが得られ、さらに界面分解能も向上していた。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 29 (0), 51-51, 2009
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205680066048
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- NII論文ID
- 130004674256
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可