粗さプロフィル補正による触針先端半径に起因する不確かさの解析

• 吉田 一朗

  明治大学　理工学研究科　機械工学専攻

• 塚田 忠夫

  明治大学　理工学部　機械情報工学科

書誌事項

タイトル別名

• Uncertainty due to the stylus tip radius by compensating roughness profile

抄録

触針式粗さ計の触針先端半径に起因する測定値の不確かさについては，FFT解析を用いた解析を既に報告した。本研究では，まず触針先端半径を種々変えた実験結果と必ずしも定量的に一致しないことを明らかにし，次に測定されたプロフィルから触針先端半径の影響を除く新たなアルゴリズムを開発することによって，実験値に近い不確かさの解析が可能であることを報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 113-113, 2003

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 触針先端半径
• 不確かさ
• プロフィル補正
• パワースペクトル密度関数
• FFT解析
• フラクタル

詳細情報

• CRID: 1390001205650532480
• NII論文ID: 130005026440
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003a.0.113.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可