超精密加工機における工具刃先とワーク面の接触検知機能(第2報）

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タイトル別名

Detection of Contact between Tool Tip and Surface of Workpiece in Ultra Precision Machine(2nd report)
Application to Setting of Datum Point for Measurement in On-machine Measurement for Free-form
自由曲面の機上計測における計測基準点設定への応用

抄録

超精密加工において、ナノ単位の形状精度を実現するためには、機上計測による補正加工が必要不可欠である。その機上計測のためには、ワークの計測基準点を明確にする必要がある。本報では、接触検知機能を応用して、頂点の存在しない自由曲面の機上計測における計測基準点の設定が可能な機能に関して報告を行う。

収録刊行物

精密工学会学術講演会講演論文集 2007A (0), 425-426, 2007

公益社団法人精密工学会

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