大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いたフッ素ポリマー表面の銅メタライジングプロセスの開発

• 秋山 弘貴

  大阪大学 工学研究科附属超精密科学研究センター

• 是津 信行

  大阪大学 工学研究科附属超精密科学研究センター

• 山村 和也

  大阪大学 工学研究科附属超精密科学研究センター

抄録

フッ素ポリマーは低誘電率，低誘電正接という優れた高周波特性を持ち，高周波用配線基板の材料として注目されている．我々は大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いたフッ素ポリマー表面の金属化プロセスを開発し、高密着性銅メタライジングを実現した．本発表ではプラズマ下における銅ナノ粒子形成機構、および無電解銅めっき反応における自己触媒作用について明らかになったことを報告する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 889-890, 2010

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 大気圧プラズマ
• 無電解銅めっき
• フッ素樹脂
• 自己触媒反応
• 銅ナノ粒子

詳細情報

• CRID: 1390001205654439680
• NII論文ID: 130005030417
• DOI: 10.11522/pscjspe.2010a.0.889.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可