ITOパターニングとスクリーン印刷による透明２自由度平面型静電モータの開発

• 細畠 拓也

  東京大　大学院工学系研究科　精密工学専攻

• 天野 皓太

  東京大　大学院工学系研究科　精密工学専攻

• 山本 晃生

  東京大　大学院工学系研究科　精密工学専攻

• 樋口 俊郎

  東京大　大学院工学系研究科　精密工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Development of Transparent 2 DOF Planar Electrostatic Motor by ITO Patterning and Screenprinting

抄録

平面ディスプレイ上インタフェースへの応用を目指し，透明な二自由度静電モータ用のフィルム電極を開発した．フィルムには市松模様状に水平／垂直方向に並べられたITO導電膜による三相電極が形成されており，これらはスクリーン印刷で形成された導電性ポリマの配線により結線されている．同電極を固定子として用い，他のフィルム電極や誘電体シートを移動子として二自由度駆動することに成功した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 475-476, 2013

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• アクチュエータ
• 静電モータ

詳細情報

• CRID: 1390282680632891904
• NII論文ID: 130005031822
• DOI: 10.11522/pscjspe.2013s.0.475.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可