総論：ミニマルファブのコンセプトと開発体制

• 久保内 講一

  ミニマルファブ技術研究組合

• 原 史朗

  (国研) 産業技術総合研究所

書誌事項

タイトル別名

• General Remarks : Concept of Minimal Fab and The Organization of The Development and The Promotion
• ミニマルファブのコンセプトと開発体制
• ミニマルファブ ノ コンセプト ト カイハツ タイセイ

抄録

1．半導体産業の実情　1947年にショックレーらによって発明されたトランジスタと，その後のキルビーによる集積回路の発明により，今日の半導体産業の集積度向上は飛躍的に向上してきた。この間約67年の技術進展は目覚ましく，集積度は「18か月 (=1.5年) ごとに倍」となるムーアの法則に代表され

収録刊行物

• 電気学会誌

  電気学会誌 135 (8), 534-537, 2015

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• ミニマルファブ
• 局所クリーン化
• ハーフインチ
• 設備投資

詳細情報

• CRID: 1390282679971949824
• NII論文ID: 130005089742
• NII書誌ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.135.534
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• NDL書誌ID: 026652005
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026652005
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal/135/8/135_534/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可