微細回路形成用（L/S 5 μm以下）の表面処理技術

• 田嶋 和貴

  メルテックス㈱ 技術開発部

書誌事項

タイトル別名

• Introduction for Fine Line Patterning Technology such as Line and Space 5 μm using by Surface Finishing Chemicals
• ビサイ カイロ ケイセイヨウ(L/S 5 mm イカ)ノ ヒョウメン ショリ ギジュツ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 65 (8), 357-362, 2014

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Package
• Substrate
• Fine Line

詳細情報

• CRID: 1390282679092951424
• NII論文ID: 130005090080
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.65.357
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 025747314
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025747314
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/65/8/65_357/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles