Direct Simulation Monte Carlo 法のターボ分子ポンプへの適用

• 筒井 慎吾

  株式会社島津製作所

• 二木 敬一

  株式会社島津製作所

書誌事項

タイトル別名

• The Application Example of Direct Simulation Monte Carlo Method to Turbo-molecular Pump
• Direct Simulation Monte Carloホウ ノ ターボ ブンシ ポンプ エ ノ テキヨウ

収録刊行物

• Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ

  Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ 58 (7), 253-256, 2015

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Spectroscopy
• Surfaces and Interfaces
• Instrumentation
• General Materials Science

詳細情報

• CRID: 1390282680272676736
• NII論文ID: 130005091229
• NII書誌ID: AA12298652
• DOI: 10.3131/jvsj2.58.253
• ISSN: 18824749
• ISSN: 18822398
• NDL書誌ID: 026611892
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026611892
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles