XUV～X線による材料加工

DOI Web Site Web Site 参考文献67件
  • 牧村 哲也
    筑波大学大学院 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻（ 〒305-8573 茨城県つくば市天王台1-1-1）
  • 新納 弘之
    （独）産業技術総合研究所 光技術研究部門（ 〒305-8565 茨城県つくば市東1-1-1 中央第5）
  • 鳥居 周一
    筑波大学大学院 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻（ 〒305-8573 茨城県つくば市天王台1-1-1）
  • 村上 浩一
    筑波大学大学院 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻（ 〒305-8573 茨城県つくば市天王台1-1-1）

書誌事項

タイトル別名
  • Micromachining Using XUV～X-Ray
  • Laser Review XUV～X線による材料加工
  • Laser Review XUV Xセン ニ ヨル ザイリョウ カコウ

この論文をさがす

抄録

We investigated micromachining using laser plasma XUV light that was generated by irradiating

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 38 (12), 957-962, 2010

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (67)*注記

もっと見る

関連プロジェクト

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ