<2014年度受賞> 「砥粒の保持特性を大幅に向上させた多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発」の技術賞受賞とその後

• 野村 信幸

  九重電気 (株)

書誌事項

タイトル別名

• Development of Porous Epoxy Resin Polishing Pads of Remarkably Improved Retention Properties of Abrasives

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 82 (2), 136-137, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• polishing
• epoxy resin
• polishing pad
• abrasive
• glass

詳細情報

• CRID: 1390282679805977216
• NII論文ID: 130005124409
• DOI: 10.2493/jjspe.82.136
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/82/2/82_136/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles