新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの開発

• 宮澤 徹也

  総合研究大学院大学

• 間瀬 一彦

  高エネルギー加速器研究機構

• 飛嶋 健佑

  弘前大学

• 菊地 貴司

  高エネルギー加速器研究機構

書誌事項

タイトル別名

• Development of a new non-evaporative getter (NEG) coating

抄録

非蒸発ゲッターポンプは超高真空領域で高排気速度を実現可能、無振動、無騒音、完全オイルフリー、省エネルギーといった特長を持つため、超高真空の維持においては理想的な真空ポンプである。最近では真空容器の内壁に清浄なTi、Zr、V、HfといったNEG材料をコーティングして200℃程度の加熱で真空容器の内壁自体をNEGポンプとする方法が開発されている。我々も新しいNEGコーティング法を開発したので報告する。

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 20-, 2016

  公益社団法人 日本表面真空学会

詳細情報

• CRID: 1390282680654771328
• NII論文ID: 130005175596
• DOI: 10.14886/sssj2008.36.0_20
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可