マイクロプローブホール電界イオン顕微鏡を用いた単一輝点内部のイオン生成率分布の精密測定

• 太田 康

  大阪市立大学大学院工学研究科

• 小林 中

  大阪市立大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• High-resolution measurement of field-ion yield distributions within a single image spot using a micro-probe hole field ion microscope

抄録

我々は、放出される電界イオンの観測を直径15pmの円形領域に制限したμPH-FIMを用いて、単一原子位置からのイオン生成率分布および導入ガス圧依存性を観測した。その結果、単一の輝点内部であっても電界イオン生成率分布に異方性が存在すること、および導入ガス圧依存性に違いが有ることを見出した。局所領域における微視的な電場分布とガス拡散の違いが輝点分布に及ぼす影響について報告する。

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 86-, 2016

  公益社団法人 日本表面真空学会

キーワード

• 電界イオン化
• 電界イオン顕微鏡
• マイクロプローブホール

詳細情報

• CRID: 1390282680656520704
• NII論文ID: 130005175832
• DOI: 10.14886/sssj2008.36.0_86
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可