フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発

• 田尻 陽亮

  東京工大　大学院理工学研究科　機械宇宙システム専攻

• ヘムタビー パソムポーン

  東京工大　大学院理工学研究科　国際開発工学専攻

• 高橋 邦夫

  東京工大　大学院理工学研究科　国際開発工学専攻

• 齋藤 滋規

  東京工大　大学院理工学研究科　機械宇宙システム専攻

抄録

紙や布，プラスチックシートなど機械的把持が困難な薄膜誘電体に対し静電チャックにより把持，脱離を行う手法が注目されている．本研究ではフォトリソグラフィ技術により微細毛構造を持つコンプライアンスのある導電性梁を製作し，薄膜対象に対し従来の静電チャックよりも高い吸着力を発揮できる双極型静電チャックを開発する．また吸着力の測定実験と有限要素法解析を比較することで性能評価を行う．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 505-506, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 静電チャック
• 双極型
• フォトリソグラフィ
• 微細毛構造

詳細情報

• CRID: 1390282680631970432
• NII論文ID: 130005263915
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_505
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可