直交電極を積層印刷した静電アクチュエータの下層電極の駆動性能

• 井口 龍太

  東京大　工学系研究科　精密工学専攻

• 山本 晃生

  東京大　工学系研究科　精密工学専攻

抄録

積層印刷によって製作された直交電極群を有する静電アクチュエータを用いて2自由度駆動が実現されている．同アクチュエータにおいては下層電極をX軸駆動用電極，上層電極をY軸駆動用電極として駆動を行っているが，下層電極を用いて駆動を行う際に上層電極の存在や電位が駆動性能に影響を及ぼす可能性が懸念されている．本研究では上層電極が下層電極の駆動性能に及ぼす影響を評価した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2015S (0), 567-568, 2015

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 静電アクチュエータ
• スクリーン印刷

詳細情報

• CRID: 1390001205657570816
• NII論文ID: 130005486303
• DOI: 10.11522/pscjspe.2015s.0_567
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可