水晶MEMS傾斜角センサにおける櫛歯電極間静電容量エッジ効果の影響評価

• Zhou Liu

• Ikezawa Satoshi

• Ueda Toshitsugu

書誌事項

タイトル別名

• Evaluation of Capacitance Edge Effect on the Comb Electrodes of the Quartz MEMS Tilt Sensor

抄録

In this paper, we report simulation and experimental results of capacitance edge effect on the comb electrodes of the quartz MEMS tilt sensor. The principle of the quartz tilt sensor is that the displacement of the moving element corresponding a tilt angle change is detected as capacitance change of comb electrode. To investigate the performance of the tilt sensor, we need to evaluate the sensitivity of the tilt sensor with and without the edge effect.

収録刊行物

• 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集

  電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2014 (0), 28-28, 2014

  電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会

詳細情報

• CRID: 1390001205664882048
• NII論文ID: 130005487786
• DOI: 10.11527/jceeek.2014.0_28
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可