高速C60イオンを用いた透過型二次イオン質量分析

• 中嶋 薫

  京都大学大学院工学研究科　マイクロエンジニアリング専攻

• 丸毛 智矢

  京都大学大学院工学研究科　マイクロエンジニアリング専攻

• 山本 和輝

  京都大学大学院工学研究科　マイクロエンジニアリング専攻

• 永野 賢悟

  京都大学大学院工学研究科　マイクロエンジニアリング専攻

• 鳴海 一雅

  日本原子力研究開発機構　高崎量子応用研究所

• 斎藤 勇一

  日本原子力研究開発機構　高崎量子応用研究所

• 平田 浩一

  産業技術総合研究所　物質計測標準研究部門

• 木村 健二

  京都大学大学院工学研究科　マイクロエンジニアリング専攻

書誌事項

タイトル別名

• Transmission secondary ion mass spectrometry using fast C60 ions

抄録

自立したシリコン窒化膜にアミノ酸またはペプチドなどの生体分子を堆積した試料を作製し、5 MeVのC₆₀⁺イオンをシリコン窒化膜側から照射し、前方に放出された正の二次イオンの質量分析を行った。通常のSIMS分析で行われるように生体分子側から照射して後方に放出する二次イオンを分析した場合と比較すると、分解片イオンの放出が抑制され、無傷の分子イオン／分解片イオンの収率比が向上することがわかった。

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 354-, 2015

  公益社団法人 日本表面真空学会

キーワード

• SIMS

詳細情報

• CRID: 1390001205678536064
• NII論文ID: 130005489409
• DOI: 10.14886/sssj2008.35.0_354
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可