近接場光学センサーを用いた硫酸銅めっき液中の添加剤管理方法

• 藤巻 真

  （国研）産業技術総合研究所 電子光技術研究部門 早稲田大学 材料技術研究所

• 佐藤 洸太朗

  早稲田大学 大学院先進理工学研究科

• 大木 義路

  早稲田大学 大学院先進理工学研究科 早稲田大学 材料技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• A Monitoring Method of Additives in a Copper Sulfate Plating Solution Using a Near-Field Optical Sensor
• キンセツジョウ コウガク センサー オ モチイタ リュウサン ドウメッキ エキ チュウ ノ テンカザイ カンリ ホウホウ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 67 (11), 575-580, 2016

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Near-Field Optics
• Waveguide
• Transparent Electrode
• Plating Solution
• Additives

詳細情報

• CRID: 1390001204118110208
• NII論文ID: 130006191339
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.67.575
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 027734355
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027734355
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/67/11/67_575/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles