レジストマイクロニードルパターンのための灌流現像システム

• 加藤 暢宏

  近畿大　生物理工学部　医用工学科

• 坂本 佳奈子

  近畿大　生物理工学部　医用工学科

• 千原 なみえ

  近畿大　生物理工学部　医用工学科

• 森中 杏菜

  近畿大　生物理工学部　医用工学科

抄録

フォトリソグラフィを用いてマイクロニードルを作成する場合、フォトレジストの膜厚が非常に大きくなるため、レジストのコーティングおよび現像に注意が必要である。本研究ではディスペンサロボットを用いて基板上の任意の位置に膜厚500μm以上でレジストをコートする方法、ならびにリングポンプを用いた現像状態をその場観察可能な灌流現像システムを開発した。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2017A (0), 925-926, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• リソグラフィ
• チューブポンプ
• ずり応力

詳細情報

• CRID: 1390282680634600192
• NII論文ID: 130006434697
• DOI: 10.11522/pscjspe.2017a.0_925
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可