Sm‐Fe合金薄膜の磁歪に及ぼす金属組織の影響

  • 増田 進吾
    東海大学大学院工学研究科金属材料工学専攻
  • 松村 義人
    東海大学連合大学院先端理工学専攻
  • 西 義武
    東海大学大学院工学研究科金属材料工学専攻 東海大学連合大学院先端理工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Morphological Influences on Magnetostriction of Sm-Fe Alloy Thin Films
  • Sm-Fe合金薄膜の磁歪に及ぼす金属組織の影響
  • Sm Fe ゴウキン ハクマク ノ ジワイ ニ オヨボス キンゾク ソシキ ノ エイキョウ

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抄録

  SmFe2.4 alloy thin films were prepared by DC magnetron sputtering process at different substrate temperatures from 323 K to 623 K and at different Ar gas pressure from 0.5 to 1.0 Pa. The magnetostriction increased with decreasing of an Ar gas pressure as sputtering gas. On the other hand, the large magnetostriction was observed at high Ar gas pressure on heating at 623 K of high substrate temperature. The maximum value of magnetostriction over 1400 ppm at 1.2 MA/m was found in a Sm-Fe film prepared at 423 K of substrate temperature and at 0.5 Pa of argon gas pressure. This value was top data for the compressive (negative) magnetostrictive films up to now. From this result, it was concluded that the amount of a magnetostriction was strongly affected by change in the morphology of the thin film.<br>

収録刊行物

  • 日本金属学会誌

    日本金属学会誌 69 (8), 747-750, 2005

    公益社団法人 日本金属学会

被引用文献 (7)*注記

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参考文献 (7)*注記

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