Development of the micromilling process for high-aspect-ratio microstructures

DOI 被引用文献2件

収録刊行物

  • J MEMS

    J MEMS 5 (1), 33-38, 1996

被引用文献 (2)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1570009750737260800
  • NII論文ID
    30020029289
  • DOI
    10.1109/84.485213
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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