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収録刊行物
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- Journal of Vacuum Science and Technology
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Journal of Vacuum Science and Technology 14 (1), 75-78, 1977-01
American Vacuum Society
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1360581247791575808
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- NII論文ID
- 30020331026
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- NII書誌ID
- AA10804928
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- DOI
- 10.1116/1.569177
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- ISSN
- 00225355
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- データソース種別
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- Crossref
- CiNii Articles