Observation, Analysis, and Simulation of the Hysteresis of Silicon Using Ultra-Micro-Indentation with Spherical Indenters

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  • CRID
    1573668926190367360
  • NII論文ID
    30029698142
  • DOI
    10.1557/jmr.1993.0830
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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