気体用熱式半導体フローセンサの開発--サーモパイル測温体に適したHパターンエッチングホールについて

• 佐々木 昌

• 若林 秀一

• 藤原 剛史

書誌事項

タイトル別名

• キタイヨウ ネツシキ ハンドウタイ フローセンサ ノ カイハツ サーモパイル ソクオンタイ ニ テキシタ Hパターン エッチングホール ニ ツイテ

収録刊行物

• Omron technics : オムロングループ技術論文誌

  Omron technics : オムロングループ技術論文誌 41 (2), 144-149, 2001

  木津川 : オムロン技術・知財本部

詳細情報

• CRID: 1520291854914227968
• NII論文ID: 40000031182
• NII書誌ID: AN0023479X
• ISSN: 04741315
• NDL書誌ID: 5814728
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5814728
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles