プラズマプロセシングの最近の動向

• 明石 和夫

書誌事項

タイトル別名

• プラズマ プロセシング ノ サイキン ノ ドウコウ
• 最新のプラズマ技術と材料プロセス<特集>
• サイシン ノ プラズマ ギジュツ ト ザイリョウ プロセス トクシュウ

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 化學工業

  化學工業 44 (3), p185-194, 1993-03

  東京 : 小峰工業出版

詳細情報

• CRID: 1521136280462203904
• NII論文ID: 40000414849
• NII書誌ID: AN00037245
• ISSN: 04512014
• NDL書誌ID: 3810236
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3810236
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP1(科学技術--化学・化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles