微細組立作業を可能にする3次元視SEMシステム

• 後藤 勝人

• 大草 武徳

• 土屋 健介

書誌事項

タイトル別名

• ビサイ クミタテ サギョウ オ カノウ ニ スル 3ジゲン シ SEM システ
• 特集 見る--最新顕微鏡の周辺技術
• トクシュウ ミル サイシン ケンビキョウ ノ シュウヘン ギジュツ

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 金属

  金属 67 (9), 737-742, 1997-09

  東京 : アグネ技術センター

詳細情報

• CRID: 1522262180349677056
• NII論文ID: 40000769189
• NII書誌ID: AN00272132
• ISSN: 03686337
• NDL書誌ID: 4285238
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4285238
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles