水晶のエッチング形状の予測法とそのデバイスへの応用

• 植田 敏嗣

書誌事項

タイトル別名

• スイショウ ノ エッチング ケイジョウ ノ ヨソクホウ ト ソノ デバイス ヘ

抄録

記事分類: 測定・測定器

収録刊行物

• 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 23 (12), p1233-1238, 1987-12

  東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-

詳細情報

• CRID: 1520572360181683968
• NII論文ID: 40000951347
• NII書誌ID: AN00072392
• ISSN: 04534654
• NDL書誌ID: 3150614
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3150614
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles