観察面の上下振動の影響を受けない光を用いた超精密面の全方向粗さ測定

• 安達 正明

• 八坂 勝彦

• 川口 格

Bibliographic Information

Other Title

• カンサツメン ノ ジョウゲ シンドウ ノ エイキョウ オ ウケナイ ヒカリ オ

Abstract

記事分類: 測定・測定器

Journal

• 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan

  光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 16 (12), p548-552, 1987-12

  東京 : 日本光学会

Details

• CRID: 1520572360202155520
• NII Article ID: 40001174355
• NII Book ID: AN00080324
• ISSN: 03896625
• NDL BIB ID: 3150585
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3150585
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles