レーザー光走査を用いた共焦点検出型サブミクロン寸法計測

• 藤田 宏夫

書誌事項

タイトル別名

• レーザーコウ ソウサ オ モチイタ キョウショウテン ケンシュツガタ サブミク

抄録

記事分類: 測定・測定器

収録刊行物

• 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan

  光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 21 (8), p535-540, 1992-08

  東京 : 日本光学会

詳細情報

• CRID: 1520853835184974464
• NII論文ID: 40001174843
• NII書誌ID: AN00080324
• ISSN: 03896625
• NDL書誌ID: 3778423
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3778423
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles