MAS構造におけるAl2O3膜の膜厚方向の物性特性の変化の測定

• 小宮 祥男

• 垂井 康夫

• 藤代 敏明

書誌事項

タイトル別名

• MAS コウゾウ ニ オケル Al2O3 マク ノ マクアツ ホウコウ ノ ブ
• 半導体デバイス特集-6-
• ハンドウタイ デバイス トクシュウ 6

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編

  電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編 40 (4・5), p298-301, 1976-05

  つくば : 電子技術総合研究所

詳細情報

• CRID: 1521417754866044160
• NII論文ID: 40002542329
• NII書誌ID: AN00152902
• ISSN: 03669092
• NDL書誌ID: 1711757
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I1711757
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles