極高真空装置の残留ガス特性

• 国分 清秀

• 清水 肇

• 一村 信吾

書誌事項

タイトル別名

• キョク コウ シンクウ ソウチ ノ ザンリュウ ガス トクセイ
• 活性粒子による新表層材料創製の研究<特集>
• カッセイ リュウシ ニ ヨル シン ヒョウソウ ザイリョウ ソウセイ ノ ケン

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編

  電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編 57 (4), p336-343, 1993-04

  つくば : 電子技術総合研究所

詳細情報

• CRID: 1520291855086267648
• NII論文ID: 40002543797
• NII書誌ID: AN00152902
• ISSN: 03669092
• NDL書誌ID: 3823985
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3823985
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles