サブ100nm時代の半導体プロセス・製造技術の展望

• 徳永 尚文

• 木村 勝高

• 中里 純

書誌事項

タイトル別名

• サブ 100nm ジダイ ノ ハンドウタイ プロセス セイゾウ ギジュツ ノ テンボウ
• 特集 最先端半導体デバイスの生産を実現するベストソリューション
• トクシュウ サイセンタン ハンドウタイ デバイス ノ セイサン オ ジツゲン スル ベストソリューション

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他

収録刊行物

• 日立評論

  日立評論 84 (3), 9-12, 2002-03

  東京 : 日立評論社

詳細情報

• CRID: 1523388080355119232
• NII論文ID: 40003253855
• NII書誌ID: AN00298883
• ISSN: 03675874
• NDL書誌ID: 6120241
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/6120241
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6120241
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles