レーザー励起蛍光法による反応性プラズマの分光計測--シランプラズマ内のSi原子密度・空間分布

• 田久保 嘉隆

• 山本 学

Bibliographic Information

Other Title

• レーザー レイキ ケイコウホウ ニ ヨル ハンノウセイ プラズマ ノ ブンコウ
• レーザー分光法によるプロセシングプラズマ計測特集号
• レーザー ブンコウホウ ニ ヨル プロセシング プラズマ ケイソク トクシュウ

Journal

• レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編

  レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 17 (8), p578-585, 1989-08

  吹田 : レーザー学会

Details

• CRID: 1520853835226642560
• NII Article ID: 40004209095
• NII Book ID: AN00255326
• ISSN: 03870200
• NDL BIB ID: 3245347
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3245347
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles