EUVリソグラフィー技術の開発状況

• 岡崎 信次

書誌事項

タイトル別名

• EUV リソグラフィー ギジュツ ノ カイハツ ジョウキョウ
• 特集 次世代リソグラフィー技術
• トクシュウ ジ セダイ リソグラフィー ギジュツ

収録刊行物

• O plus E : Optics + electronics

  O plus E : Optics + electronics 23 (6), 684-689, 2001-06

  東京 : アドコム・メディア

詳細情報

• CRID: 1523388079618996992
• NII論文ID: 40004575967
• NII書誌ID: AN00360954
• ISSN: 09115943
• NDL書誌ID: 5794095
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5794095
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles