次世代実装技術に対応する微細配線形成

• 小山 昌一

• 堀川 泰愛

• 飯島 隆廣

書誌事項

タイトル別名

• ジ セダイ ジッソウ ギジュツ ニ タイオウ スル ビサイ ハイセン ケイセイ

収録刊行物

• マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

  マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 11 135-138, 2001-10

  東京 : エレクトロニクス実装学会

詳細情報

• CRID: 1520853833135961344
• NII論文ID: 40004702336
• NDL書誌ID: 6128711
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6128711
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles