局所摂動パターンマッチング法によるLSIウェーハパターンの精密外観検査

• 松山 幸雄

書誌事項

タイトル別名

• キョクショ セツドウ パターン マッチングホウ ニ ヨル LSI ウェーハ パ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

• 電子情報通信学会論文誌. D-2, 情報・システム. 2, パターン処理 = The IEICE transactions on information and systems. Pt. 2 / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. D-2, 情報・システム. 2, パターン処理 = The IEICE transactions on information and systems. Pt. 2 / 電子情報通信学会 編 72 (12), p2041-2050, 1989-12

  東京 : 電子情報通信学会情報・システムソサイエティ

詳細情報

• CRID: 1520009410273234560
• NII論文ID: 40004782092
• NII書誌ID: AN1007132X
• ISSN: 09151923
• NDL書誌ID: 3257479
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3257479
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles