ラマン散乱分光法によるSiCの積層欠陥の評価

• 中島 信一

• 播磨 弘

• 勝野 正和

書誌事項

タイトル別名

• ラマン サンラン ブンコウホウ ニ ヨル SiC ノ セキソウ ケッカン ノ ヒョウカ
• 特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術 ; デバイスプロセスと特性評価
• トクシュウ ハード エレクトロニクス チョウテイ ソンシツ パワー デバイス ギジュツ ; デバイス プロセス ト トクセイ ヒョウカ

収録刊行物

• FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編]

  FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編] 11 (2), 57-60, 2000

  東京 : 新機能素子研究開発協会

詳細情報

• CRID: 1523106604777589632
• NII論文ID: 40004956831
• NII書誌ID: AN10190078
• ISSN: 09182772
• NDL書誌ID: 5469068
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5469068
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles