Use of Low Energy Ions for Removal of Damaged Layer of Cross-sectioned Specimen Prepared by Focused Ion Beam

• Takaomi Matsutani

• Keigo Iwamoto

• Takaharu Nagatomi

書誌事項

タイトル別名

• Use of Low Energy Ions for Removal of Damaged Layer of Cross sectioned Specimen Prepared by Focused Ion Beam

収録刊行物

• Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編

  Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編 7 (3), 314-319, 2000-12

  東京 : 表面分析研究会

詳細情報

• CRID: 1522825130848119552
• NII論文ID: 40005083437
• NII書誌ID: AA11448771
• ISSN: 13411756
• NDL書誌ID: 5631194
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5631194
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles