Comparative Study of Electron Counting and Conventional Analogue Detection of Secondary Electrons in SEM

• Yoshiki Uchikawa

書誌事項

タイトル別名

• Comparative Study of Electron Counting

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡

収録刊行物

• Journal of electron microscopy

  Journal of electron microscopy 41 (4), p253-260, 1992

  Oxford : Published for the Japanese Society of Electron Microscopy by Oxford University Press

詳細情報

• CRID: 1522262180320313472
• NII論文ID: 40005328494
• NII書誌ID: AA00697060
• ISSN: 00220744
• NDL書誌ID: 3783089
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3783089
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles