ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法

• 木内 正人

• 松谷 貴臣

• 竹内 孝江

書誌事項

タイトル別名

• ヘキサメチルジシラン オ モチイタ イオンビーム ユウキ CVDホウ

収録刊行物

• イオン注入表層処理シンポジウム予稿集

  イオン注入表層処理シンポジウム予稿集 (17), 15-17, 2001-11-30

  和光 : イオン注入表層処理研究会

詳細情報

• CRID: 1522543655726384256
• NII論文ID: 40005818997
• ISSN: 09171460
• NDL書誌ID: 6582659
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6582659
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles