65nmプロセスノードに対応するCD-SEM技術

• 山口 敦子

• 中垣 亮

• 川田 洋揮

書誌事項

タイトル別名

• 65nm プロセスノード ニ タイオウ スル CD SEM ギジュツ
• 特集1 ナノメートル時代の最先端半導体デバイスの量産を支えるベストソリューション
• トクシュウ 1 ナノメートル ジダイ ノ サイセンタン ハンドウタイ デバイス ノ リョウサン オ ササエル ベストソリューション

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他

収録刊行物

• 日立評論

  日立評論 86 (7), 471-476, 2004-07

  東京 : 日立評論社

詳細情報

• CRID: 1521699229865915648
• NII論文ID: 10017414013
• NII論文ID: 40006331109
• NII書誌ID: AN00298883
• ISSN: 03675874
• NDL書誌ID: 7028118
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7028118
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles