光干渉法による膜形状測定装置「SP-500F」とその応用

• 北川 克一

書誌事項

タイトル別名

• ヒカリ カンショウホウ ニ ヨル マク ケイジョウ ソクテイ ソウチ SP 500F ト ソノ オウヨウ

収録刊行物

• 電子材料

  電子材料 44 (7), 77-80, 2005-07

  東京 : 工業調査会

詳細情報

• CRID: 1521980705055607296
• NII論文ID: 40006824436
• NII書誌ID: AN00153166
• ISSN: 03870774
• NDL書誌ID: 7411820
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7411820
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles